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捷佳伟创:子公司中标 半导体碳化硅整线湿法设备订单

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证券时报e公司讯,据捷佳伟创消息,近日公司子公(gōng)司创微微电子 (常州)有限公司(sī)(简称(chēng):创微微电(diàn)子)在竞标中(zhōng)技术与商务综合评估领(lǐng)先,中标半(bàn)导体碳化硅整线湿法设备订单并完成合同(tóng)签署。此(cǐ)次中标,标志着(zhe)创微微电子6/8吋槽式及单片全自动湿法刻蚀清洗设备已经覆盖了碳化硅器件刻(kè)蚀清洗全段工(gōng)艺,具备(bèi)替代进口设备的能力。

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